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  • JSM-IT800SHL場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
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2021/7/23 20:15:33

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JSM-IT800SHL 是日本電子株式會(huì)社(JEOL) 2020 年推出的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,它秉承 JEOL 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 JSM-7900F 的大束流,高穩(wěn)定性的傳統(tǒng),同時(shí)將分辨率提高到新的極限,全新設(shè)計(jì)的超級(jí)混合型物鏡,高分辨率的獲得以及磁性樣品的觀察都可以同時(shí)完成,而且標(biāo)配 JEOL 開發(fā)的 NEO Engine,使得任何人都可以操作該設(shè)備得到高質(zhì)量的圖像,是一款非常適合材料分析......

JSM-IT800SHL場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡詳細(xì)信息

日本電子JEOL場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 JSM-IT800SHL, 是JSM-7900F 的升級(jí)版
JSM-IT800SHL 是日本電子株式會(huì)社(JEOL) 2020 年推出的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,它秉承 JEOL 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 JSM-7900F 的大束流,高穩(wěn)定性的傳統(tǒng),同時(shí)將分辨率提高到新的極限,全新設(shè)計(jì)的超級(jí)混合型物鏡,高分辨率的獲得以及磁性樣品的觀察都可以同時(shí)完成,而且標(biāo)配 JEOL 開發(fā)的 NEO Engine,使得任何人都可以操作該設(shè)備得到高質(zhì)量的圖像,是一款非常適合材料分析研究的設(shè)備。
JSM-IT800SHL 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要特點(diǎn)
。超高分辨圖像的觀察,放大倍數(shù) 3 百萬倍
0.5nm (二次電子,加速電壓:15kV)
0.7nm (二次電子,GB 模式,加速電壓:1kV) 突出的低壓分辨率
。加速電壓: 0.01kV~30.0kV, 可以到 10V,仍然可以得到高分辨率圖像。
。高穩(wěn)定的大束流強(qiáng)度:
日本電子的 JSM-IT800SHL 熱場(chǎng)電子槍浸沒在聚光鏡上半部,發(fā)射出的電子束可以全部進(jìn)入聚光鏡,使得分析束流從 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA,能譜、波譜等分析效率效果明顯改善。與此同時(shí),濺射出的污染明顯減少,槍的壽命大幅度延長(zhǎng)。分子泵系統(tǒng):真空系統(tǒng)潔凈,抽氣速度快,維護(hù)簡(jiǎn)單。
。大束流下保持高分辨率
小束流觀察時(shí),容易得到小束斑,保證高分辨率。提高束流,束斑尺寸不容易維持,分辨率衰減較快,這也是早期熱場(chǎng)電鏡無法取得高分辨率的原因。日本電子的 JSM-IT800SHL 在物鏡光闌下端多設(shè)計(jì)了一級(jí)磁透鏡(光闌角控制透鏡 ACL),可以對(duì)電子束進(jìn)行優(yōu)化,得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很難獲得圖像的情況改進(jìn)到束流 500nA 下依然圖像清晰,從根本上解決了大分析束流與高分辨率圖像并存的難題。同時(shí)給出了一個(gè)分析模式下的分辨率保證值,這是其他廠家無法保證的。
。開發(fā)的超級(jí)混合式物鏡:應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,可以直接做磁性樣品,無需任何模式切換
。 NEO Engine:全新開發(fā)的 NEO Engine 優(yōu)化系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單一鍵自動(dòng)聚焦合軸,無需任何操作基礎(chǔ),輕松可以達(dá)到高倍下一鍵聚焦,使得該設(shè)備的易用性達(dá)到了新的高度。
。五軸馬達(dá)樣品臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)控制:使用極為方便;
??旖莸碾p換樣方式:利用 JSM-IT800SHL 的標(biāo)準(zhǔn)配置氣鎖加大開門設(shè)計(jì),即可裝入直徑為170mm 樣品,氣鎖換樣速度快污染小,同時(shí)支持側(cè)面大開門換樣,這樣對(duì)于大樣品和特種附件的安裝就更加方便;
。 新型探測(cè)器:Inlens 探頭 UHD 探頭可以高信噪比的進(jìn)行二次電子成像。對(duì)于表面精細(xì)結(jié)構(gòu)更加靈敏,同時(shí)適合斷口樣品分析。
。浸沒式熱場(chǎng)發(fā)射電子槍():束流穩(wěn)定性高,電子槍壽命超長(zhǎng),質(zhì)保期為 3 年。
。光闌角控制透鏡():無須手動(dòng)切換光闌,束流大小*由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制;
。離子泵的電源支持:停電后最長(zhǎng)可以堅(jiān)持 14 天,電池更換每次只需 200 元左右。
。良好的可操作性:控制界面設(shè)計(jì)非常友好,使用極為便利;
。穩(wěn)定的 GB 模式:標(biāo)準(zhǔn)配置。可以有效抑制充電和提高低電壓下的分辨率();
。一體化能譜分析:配合一體化能譜儀(EDS)分析時(shí),可以實(shí)時(shí)顯示圖像和成分信息,無需模式切換。
。超長(zhǎng)的發(fā)射體壽命: 由于采用 In-Lens 技術(shù),我們的束流強(qiáng)度可以達(dá)到 500nA,其他廠家只能做到 20nA.我們?cè)谧龀煞址治鰰r(shí),或搭載 EBSD 或 WDS 時(shí),分析速度和結(jié)果的精確度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于他們。采用了 In-Lens 電子槍技術(shù)和的氣鎖換樣系統(tǒng),我們的發(fā)射體質(zhì)保 3 年,用戶一般使用在 6 年以上,而其他廠家只能提供質(zhì)保 1 年的承諾。
。優(yōu)秀的技術(shù)支持和售后服務(wù)體系:日本電子株式會(huì)社在中國(guó)建立獨(dú)立的維修站已經(jīng)超過 20 年,擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)工程師(包括常駐的外國(guó)工程師)60 多人,反應(yīng)快,技術(shù)力量強(qiáng)。
JSM-IT800SHL 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡系統(tǒng)主要性能參數(shù)

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