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等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京英格海德分析技術(shù)有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/7/8 15:38:34
訪問次數(shù)458

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京英格海德分析技術(shù)有限公司分析儀器制造商在中國的代理。多年來，我們在客戶中建立了良好的聲譽(yù)。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿，如催化化學(xué)、氫能研究、等離子體物理、表面科學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體材料和微納米測量領(lǐng)域。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。我們在為客戶提儀器設(shè)備的同時，還為他們提供了及時周到的售后服務(wù)，讓用戶無后顧之憂，使其專心科研。

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過程質(zhì)譜,化學(xué)吸附儀,其它通用分析

產(chǎn)品簡介在線詢價

The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.

等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測儀產(chǎn)品信息

IMP離子蝕刻探針（Ion Milling Probe），自帶差式泵，堅(jiān)固的二次離子質(zhì)譜儀，適于分析離子蝕刻過程中的二次離子和中性粒子。的專業(yè)終點(diǎn)檢測（End Point Detection）儀器，用于離子蝕刻控制以及過程優(yōu)化監(jiān)測。

·差式泵歧管，經(jīng)連接法蘭，接到過程室
·離子光學(xué)器件，帶能量分析器和內(nèi)置離子源
·Penning規(guī)和互鎖裝置，以提供過壓保護(hù)
·數(shù)據(jù)系統(tǒng)與過程控制工具整合

·高靈敏度的 SIMS / MS，帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
·三級過濾四極桿，標(biāo)準(zhǔn)配置質(zhì)量數(shù)為300amu
·穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于 ±0.5%)
·通過 RS232、RS485或以太網(wǎng)，軟件MASsoft控制
·程控DDE, 平行數(shù)字式I/O，RS232通訊