供氣系統(tǒng)：簡單供氣系統(tǒng)、常規(guī)供氣系統(tǒng)、大宗特氣供氣系統(tǒng)。深圳實驗室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB

　　簡單輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)和單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。

　　常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

　　大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空;多重安全防護措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷;氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用獨立氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。

　　實驗室集中供氣的優(yōu)點：

　　1、保持氣體純度;

　　2、不間斷氣體供應(yīng),系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換，保證氣體連續(xù)供應(yīng)

　　3、低壓警示,當(dāng)氣壓低于警報*，報警裝置可自動啟動報警

　　4、氣體壓力穩(wěn)定,系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力

　　5、高效率,通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本

　　6、操作簡便，所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運安裝的操作，節(jié)約時間和成本費用

　　7、減少氣瓶的租金，采用集中供氣，可減少對氣瓶數(shù)量的要求，從而節(jié)省氣瓶的租用成本

　　8、無氣瓶在實驗室，可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間

　　9、方便檢查和維修，深圳實驗室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB