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1200高真空PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2018/11/7 14:27:01
  • 訪問(wèn)次數(shù)952
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上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司是一家專注于新材料、新能源全套設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)銷(xiāo)售一體的高科技企業(yè),公司下設(shè)三個(gè)事業(yè)部(儀器設(shè)備事業(yè)部、新材料事業(yè)部、新能源事業(yè)部)和一個(gè)實(shí)驗(yàn)測(cè)試中心。儀器設(shè)備事業(yè)部提供從“研磨、混合、分散均質(zhì)乳化——干燥——成型——高溫?zé)Y(jié)——切磨拋——測(cè)試”一條龍服務(wù),為您的材料實(shí)驗(yàn)室量身定制全面的解決方案,我們可根據(jù)您的工藝要求,將您的科研成果同步放大,真正實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室到批量生產(chǎn)的無(wú)縫對(duì)接。主要產(chǎn)品有:研磨、混合、分散均質(zhì)乳化設(shè)備(球磨機(jī)、粉碎機(jī)、研磨分散乳化機(jī));干燥設(shè)備(噴霧干燥機(jī)、真空干燥箱、流化床干燥機(jī));成型設(shè)備(壓片機(jī)等);高溫?zé)Y(jié)設(shè)備(箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)、真空燒結(jié)爐、真空熔煉爐及各種非標(biāo)加熱爐);切、磨、拋設(shè)備(切割機(jī)、研磨機(jī)、拋光機(jī));測(cè)試設(shè)備(硬度計(jì)、金相設(shè)備、顯微鏡等)。

新材料事業(yè)部與多所高校和研究所展開(kāi)緊密合作,可提供多種陶瓷、薄膜、晶體的制備工藝及成套設(shè)備,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纖維、碳納米管及氣凝膠燒結(jié)的整套解決方案。我們開(kāi)發(fā)的成套設(shè)備有:機(jī)械剝離法石墨烯粉體生產(chǎn)線、石墨烯薄膜卷對(duì)卷連續(xù)制備系統(tǒng)、碳纖維規(guī)模生產(chǎn)線、碳納米管連續(xù)制備裝置、大尺寸氣凝膠燒結(jié)設(shè)備等。

新能源事業(yè)部是在國(guó)家清潔能源與可再生能源發(fā)展戰(zhàn)略背景下,圍繞國(guó)家能源“十三五規(guī)劃”中的太陽(yáng)能、風(fēng)能以及分布式儲(chǔ)能等系統(tǒng)中傳熱、儲(chǔ)熱熔鹽系統(tǒng)的需求成立的,專門(mén)針對(duì)熔鹽在傳熱儲(chǔ)能等應(yīng)用中的關(guān)鍵問(wèn)題,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的熔鹽化學(xué)化工技術(shù)與設(shè)備的專業(yè)提供商、服務(wù)商和集成商。*與*上海應(yīng)用物理研究所,*上海有機(jī)化學(xué)研究所,中國(guó)工程物理研究院材料所等研究院所合作,開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)了一系列高溫熔鹽熔融設(shè)備、熔鹽存儲(chǔ)轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備、熔鹽電解精煉系統(tǒng)、熔鹽關(guān)鍵物性檢測(cè)設(shè)備等高溫熔鹽相關(guān)設(shè)備與系統(tǒng),成功解決了熔鹽熔融制備、凈化存儲(chǔ)、分析檢測(cè)、傳熱儲(chǔ)能等應(yīng)用中的諸多關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題。

公司擁有多名高級(jí)顧問(wèn),均來(lái)自國(guó)內(nèi)外*科研單位和高等學(xué)府,其中研究員3人,博士5人,碩士5人,他們*從事化工機(jī)械、*材料、新型熔鹽等方面的研究,為公司的發(fā)展有效的提供了智力支持和技術(shù)保障。

公司坐落在上海市嘉定工業(yè)園區(qū),占地面積超10畝,交通便利,沈海高速朱橋出口即到。“致力創(chuàng)新、助力科研”,我們?cè)笧樾虏牧?、新能源的發(fā)展做出我們一點(diǎn)微薄的貢獻(xiàn)。

“煜耀東方、志在千里”,上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司全體員工期待您的光臨!

箱式爐,管式爐,氣氛爐
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新
1200高真空PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系,使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)*業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
1200高真空PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

簡(jiǎn)介 

PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng);借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn);

1200高真空PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系,使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)*業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

1200高真空PECVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

*真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好;

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn);

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻;

爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

尺寸重量

1730*660*1130mm;凈重:210kg

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極?。?nbsp;

尺寸:Φ60*1300mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空;

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷;

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐;

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用;

加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm; 

工作溫度:≤1150℃; 

溫度:1200℃;

升溫速率:10℃/min

溫控系統(tǒng)

日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分步、分段

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制;內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥;管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套;每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥;通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格:0~1000sccm(可選);   流量精度:±1.5%

高真空系統(tǒng)

采用雙級(jí)旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa; 復(fù)合真空計(jì),配置電阻規(guī)+電離規(guī)

抽速:110L/S; 冷卻:風(fēng)冷; 電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源系統(tǒng)

輸出功率:0-300W;功率穩(wěn)定度:±0.1%;射頻電源頻率:13.56MHz  穩(wěn)定性±0.005%;大反向功率:120W;射頻電源電子輸出端口:UHF; 冷卻:風(fēng)冷; 電源:AC187-253V 50/60Hz

可選配件

各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件

保修卡

整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)

關(guān)鍵詞:真空泵
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