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PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子，就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜；具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)；
1200高真空PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫，配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長(zhǎng)薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)*業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
1200高真空PECVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu)； *真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)； 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻； 爐蓋可開(kāi)啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1730*660*1130mm；凈重：210kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極??； 尺寸：Φ60*1300mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； 溫度：1200℃； 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分步、分段 |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制；內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套；每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥；通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1000sccm（可選）； 流量精度：±1.5% |
高真空系統(tǒng) | 采用雙級(jí)旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa； 復(fù)合真空計(jì)，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/S； 冷卻：風(fēng)冷； 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統(tǒng) | 輸出功率:0-300W；功率穩(wěn)定度：±0.1%；射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%；大反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF； 冷卻:風(fēng)冷； 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件 |
保修卡 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
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移動(dòng)站：1200高真空PECVD系統(tǒng)
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