SAHUS無(wú)油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含有動(dòng)、定渦旋盤(pán)、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤(pán)為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開(kāi)線螺旋形盤(pán)壁組成，定渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)組成渦旋盤(pán)付構(gòu)成無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過(guò)程中動(dòng)、定渦旋盤(pán)互不接觸，依靠相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過(guò)吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實(shí)現(xiàn)對(duì)被抽腔體抽真空
 

特點(diǎn)
抽速范圍廣，從1升/秒到17升/秒
適用于電源電壓與頻率，110/220/380/460V,50/60Hz
高效環(huán)保，不返油也不噴油，創(chuàng)造潔凈真空和潔凈工作環(huán)境
操作簡(jiǎn)單，能在大氣壓和真空之間頻繁啟動(dòng)與關(guān)閉
低振動(dòng)，低噪音，低能耗
重量輕、體積小
 

用途

鍍膜，PVD/CVD/LPD

LED/LCD/激光管抽真空與封裝
真空爐/單晶爐/烘箱
電子束焊接/激光焊接
手套箱/排氣臺(tái)
預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
激光管抽真空/封接
真空檢漏/He質(zhì)譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
冷凝泵再生
分子泵前級(jí)
空間環(huán)境模擬
表面分析儀器/能譜儀/掃描電鏡
光束線

使用注意事項(xiàng)

不能抽對(duì)人體有害或者易爆、易燃或腐蝕性氣體，或者含有化學(xué)品、溶劑、以及能生成粉末的物質(zhì)，以免由于爆炸或者燃燒引起人身傷害。
進(jìn)氣溫度不能超過(guò)50℃，如果超過(guò)該溫度，必須在進(jìn)氣管路上安裝冷卻裝置，使進(jìn)氣溫度低于50℃。