SAHUS無油渦旋真空泵由泵頭、電機、機座等構成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼等。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤付構成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空
 

特點
抽速范圍廣，從1升/秒到17升/秒
適用于電源電壓與頻率，110/220/380/460V,50/60Hz
高效環(huán)保，不返油也不噴油，創(chuàng)造潔凈真空和潔凈工作環(huán)境
操作簡單，能在大氣壓和真空之間頻繁啟動與關閉
低振動，低噪音，低能耗
重量輕、體積小
 

用途

鍍膜，PVD/CVD/LPD

LED/LCD/激光管抽真空與封裝
真空爐/單晶爐/烘箱
電子束焊接/激光焊接
手套箱/排氣臺
預處理室/樣品傳輸室抽真空
激光管抽真空/封接
真空檢漏/He質譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
冷凝泵再生
分子泵前級
空間環(huán)境模擬
表面分析儀器/能譜儀/掃描電鏡
光束線

使用注意事項

不能抽對人體有害或者易爆、易燃或腐蝕性氣體，或者含有化學品、溶劑、以及能生成粉末的物質，以免由于爆炸或者燃燒引起人身傷害。
進氣溫度不能超過50℃，如果超過該溫度，必須在進氣管路上安裝冷卻裝置，使進氣溫度低于50℃。