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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>其它儀器儀表>其它儀器儀表>R-T-R 卷對(duì)卷等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備

  • 卷對(duì)卷等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備
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參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

型號(hào)

R-T-R

訪問次數(shù)

1420

產(chǎn)地

安徽合肥市

更新時(shí)間

2018/5/14 16:16:01

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卷對(duì)卷等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新
卷對(duì)卷等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備 是快速冷卻卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐,它由高溫生長(zhǎng)腔體,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,RF射頻電源模塊,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔或纖維絲的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體

卷對(duì)卷等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備詳細(xì)信息

 

技術(shù)參數(shù):

 

額定功率:7KW

額定電壓:AC 208-240V ,50/60 Hz

zui高溫度:1200℃

持續(xù)工作溫度:≤1100℃

升溫速率:≤30℃/min

爐管尺寸:高純石英管Φ80×2000mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度:300+300+300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:500mm

控溫方式:宇電儀表

控溫精度:±1℃

加熱元件:進(jìn)口電阻絲

真空度可達(dá)10-1Pa ;

真空泵抽速:4L/S

氣路系統(tǒng)內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量;設(shè)靜態(tài)混氣室,有助于氣體充分混合,按要求配比。

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

zui大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:液晶屏顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6

射頻信號(hào)頻率:13.56MHz±0.005%W

功率輸出范圍:0-500W

 

 

細(xì)節(jié)展示:

 

 

       

 

 

 

  
  
  
 
 
 
  
  
  
  
關(guān)鍵詞:真空泵 截止閥

用戶評(píng)論

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