概況及原理
氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由轉子1、轉子2、泵體4、冷卻器7 等組成，由于其特殊的結構設計，使其可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行。冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何影響。右圖Ⅰ至圖Ⅴ是轉子在泵腔內旋轉120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻器和電機是每臺泵*的附件，冷卻器和電機的規(guī)格是根據不同的工況而定。泵可以單獨使用也可以多臺串聯(lián)使用，或與液環(huán)真空泵和普通羅茨串聯(lián)成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。