水是工業(yè)的“血液”,在制造、加工、凈化、洗滌等方面發(fā)揮著重要的作用。因此,水的質(zhì)量對工業(yè)來說尤為重要。隨著工業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展,工業(yè)生產(chǎn)用水對水質(zhì)要求越來越嚴(yán)苛。許多行業(yè)離不開超純水,例如,制藥行業(yè)用超純水消毒清洗、制劑洗瓶、配料,電力行業(yè)用超純水制備精細(xì)處理設(shè)備,半導(dǎo)體行業(yè)用超純水給芯片“洗澡”清潔,從而確保芯片質(zhì)量達標(biāo)。
處于整個電子信息產(chǎn)業(yè)鏈頂端的半導(dǎo)體,對超純水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO等要求越來越嚴(yán)。嚴(yán)苛的要求,復(fù)雜的制備工藝,給半導(dǎo)體超純水制備行業(yè)帶來頗高的準(zhǔn)入門檻,也給一些擁有核心自研優(yōu)勢的企業(yè)創(chuàng)造出發(fā)展機遇。

各行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)不同,半導(dǎo)體位前列
用超純水設(shè)備制取處理的純水可應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)、電池電鍍、食品工業(yè)、玻璃用水、醫(yī)療行業(yè)、飲料用水、釀酒工業(yè)、超純材料和超純試劑的生產(chǎn)等領(lǐng)域。不同行業(yè)為超純水設(shè)置了不同“準(zhǔn)入券”。
目前,我國電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。一些行業(yè)不僅對電阻率有要求,還對金屬離子,細(xì)菌含量,甚至是溶解氧含量都有嚴(yán)格要求。
半導(dǎo)體行業(yè)對超純水的指標(biāo)要求比其他行業(yè)都高 。根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同,水質(zhì)要求也不一樣。其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下:電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);TOC(總有機碳)小于1至10 ppb,DO(溶解氧)小于1至10 ppb;0.05微米顆粒(微粒)小于200個/升;離子含量大多小于20至50 PPT沒有檢測到細(xì)菌。
半導(dǎo)體超純水高標(biāo)準(zhǔn)促進超純水生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展及應(yīng)用。萊特萊德專注于超純水領(lǐng)域多年,超純水設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)高,采用超純水膜元件,在拋光段采用陶氏進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂,在保證系統(tǒng)高回收率的同時,有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。占地面積小,擁有專業(yè)后期設(shè)計團隊,根據(jù)客戶現(xiàn)場實際情況設(shè)計設(shè)備的外形及擺放,提高設(shè)備的集成度,盡量減少設(shè)備的占地面積,在考慮設(shè)備外形美觀的同時,兼顧設(shè)備操作人員的操作舒適度。運行費用低,保證設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)的同時,降低設(shè)備的運行壓力,提高系統(tǒng)回收率,降低運行成本。
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