近年來(lái),憑借巨大的市場(chǎng)需求、穩(wěn)定的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)及有利的產(chǎn)業(yè)政策環(huán)境等優(yōu)勢(shì)條件,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)步入了新一輪加速發(fā)展的階段。近幾年年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)12%,市場(chǎng)規(guī)模突破萬(wàn)億。半導(dǎo)體行業(yè)的快步發(fā)展,也驅(qū)動(dòng)著超純水行業(yè)的不斷革新。

對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,超純水的純度是確保高效生產(chǎn)的基石之一,工藝的先進(jìn)性和穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率,與產(chǎn)品良率及經(jīng)濟(jì)效益密切關(guān)聯(lián),更是下游客戶選擇合作方的關(guān)鍵指標(biāo)。

超純水的指標(biāo)要求越高,背后的制備工藝也愈加繁復(fù),對(duì)超純水系統(tǒng)的要求也更為嚴(yán)苛。因此,超純水的制備技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展中是非常重要的一環(huán)。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,國(guó)內(nèi)已有部分企業(yè)實(shí)現(xiàn)設(shè)備或核心材料的生產(chǎn),逐漸實(shí)現(xiàn)超純水國(guó)產(chǎn)化,超純水生產(chǎn)制備技術(shù)和工藝日益成熟。

超純水設(shè)備助力半導(dǎo)體行業(yè)攻堅(jiān)克難

超純水純度制備技術(shù)一直是行業(yè)攻克難關(guān),影響產(chǎn)品良率的雜質(zhì)濃度包括:有機(jī)物(TOC)、顆粒物、細(xì)菌、金屬和陰離子,尤其超純水中的硼含量始終難以達(dá)到極低的標(biāo)準(zhǔn),作為硅的“摻雜劑”,“摻雜”過(guò)程中,將硼原子引入硅晶體中,雖然可以改變硅晶體的電氣特性,但也不可避免地影響了硅襯底的導(dǎo)電性。因此超純水中無(wú)限降低硼的含量對(duì)半導(dǎo)體的制造過(guò)程至關(guān)重要。

萊特萊德公司的半導(dǎo)體超純水設(shè)備，能夠滿足最嚴(yán)苛的電子工業(yè)和半導(dǎo)體級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)志著公司在國(guó)內(nèi)超純水行業(yè)掌握了核心技術(shù)，并且達(dá)到了較高水平，國(guó)內(nèi)現(xiàn)有半導(dǎo)體行業(yè)在晶圓、硅片、電路板等生產(chǎn)過(guò)中超純水技術(shù)的空白與短板。

萊特萊德超純水設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)高，采用超純水膜元件，在拋光段采用陶氏進(jìn)口拋光樹(shù)脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹(shù)脂，在保證系統(tǒng)高回收率的同時(shí)，有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。占地面積小，擁有專業(yè)后期設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況設(shè)計(jì)設(shè)備的外形及擺放，提高設(shè)備的集成度，盡量減少設(shè)備的占地面積，在考慮設(shè)備外形美觀的同時(shí)，兼顧設(shè)備操作人員的操作舒適度。運(yùn)行費(fèi)用低，保證設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)的同時(shí)，降低設(shè)備的運(yùn)行壓力，提高系統(tǒng)回收率，降低運(yùn)行成本。