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半導(dǎo)體特種氣體巡檢英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 的現(xiàn)場實(shí)測應(yīng)用

來源：英肖儀器儀表（上海）有限公司 2026年08月19日 14:18

半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中，氬氣、氦氣這類特種惰性氣體被大量用作工藝載氣與保護(hù)氣。氣體內(nèi)部攜帶的微量水汽，即便含量很低，也會(huì)在蝕刻、薄膜沉積等工序里對(duì)晶圓產(chǎn)生負(fù)面影響，容易引發(fā)表面氧化、薄膜針孔等各類工藝缺陷，影響產(chǎn)品生產(chǎn)過程。因此，定期對(duì)供氣管路、氣瓶出口、機(jī)臺(tái)進(jìn)氣端開展氣體濕度檢測，是半導(dǎo)體工廠品質(zhì)管控環(huán)節(jié)里不可que少的一環(huán)，英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 可以完成這類特種惰性氣體的現(xiàn)場取樣檢測工作。

英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 搭載肖氏超高電容氧化鋁傳感器，具備多檔可選量程，能夠適配不同純度等級(jí)氬氣、氦氣的微量水分測試需求。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 自帶干燥劑艙室結(jié)構(gòu)，每次檢測前后會(huì)對(duì)傳感器與氣路腔體完成干燥凈化，降低車間環(huán)境濕氣侵入帶來的干擾，減少取樣過程引入的誤差，保障特種氣體取樣檢測過程穩(wěn)定。

半導(dǎo)體車間內(nèi)部檢測點(diǎn)位分布零散，涵蓋氣體分配柜、氣瓶接口、設(shè)備進(jìn)氣口等多處位置，需要人員移動(dòng)完成多點(diǎn)抽檢。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 整機(jī)重量 1.75kg，機(jī)身輕便，方便工作人員攜帶流轉(zhuǎn)于各個(gè)測點(diǎn)。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 擁有 IP66 防護(hù)等級(jí)，可以應(yīng)對(duì)車間機(jī)房、特氣間復(fù)雜的現(xiàn)場工況。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 內(nèi)置充電鋰電池，可實(shí)現(xiàn) 150 小時(shí)連續(xù)工作，長時(shí)間巡檢作業(yè)無需頻繁充電。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 配置彩色 LCD 顯示屏，支持中文界面，可靈活切換露點(diǎn)溫度、ppm (v) 等多種計(jì)量單位，現(xiàn)場直接讀取氬氣、氦氣的濕度數(shù)據(jù)。

英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 配置 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)功能，工作人員可直接在生產(chǎn)現(xiàn)場完成儀表校驗(yàn)，不用送回實(shí)驗(yàn)室處理，簡化儀表維護(hù)流程。英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 支持大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，能夠保存大量測點(diǎn)記錄，借助 USB、藍(lán)牙接口，可將檢測數(shù)據(jù)導(dǎo)出至電腦做歸檔留存，方便工藝人員跟蹤管路氣體濕度的變化趨勢(shì)。依靠英國 SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 開展周期性抽檢，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)管路密封泄漏、純化裝置性能衰減等異常情況，減少水汽給晶圓帶來的工藝缺陷，維護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定運(yùn)行

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