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空氣制冷卡盤系統-探針臺chiller

來源:無錫冠亞智能裝備有限公司   2026年07月09日 16:16  

空氣制冷卡盤系統是一種以壓縮空氣為制冷介質的精密溫控設備,主要用于半導體、電子等行業(yè)的晶圓或器件測試環(huán)節(jié),實現對被測工件的穩(wěn)定夾持與準確溫度控制。無錫冠亞恒溫作為專業(yè)工業(yè)溫控設備廠家,其GY-CP系列空氣制冷卡盤系統采用純空氣制冷技術,不使用液體冷媒或帕爾貼元件,具備高可靠性與穩(wěn)定性。

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空氣制冷卡盤系統工作原理

系統通過專用冷卻機對壓縮空氣進行溫度調節(jié),經密閉通道輸送至卡盤內部,實現對卡盤平板的均勻冷卻與加熱。配合分布式溫度傳感器與PID+PLC復合控制算法,可準確控制溫度波動在±0.5℃以內,滿足精密測試需求。

空氣制冷卡盤系統主要特點與規(guī)格

· 純空氣制冷,無液體泄漏風險,維護簡便

· 溫度范圍覆蓋-65℃至+200℃,支持定制化溫度區(qū)間

· 適配8英寸、12英寸等多種晶圓尺寸,提供非標定制

· 低噪音運行,適合低噪音測試環(huán)境需求

空氣制冷卡盤系統典型應用場景

廣泛應用于半導體晶圓變溫電學測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領域,為晶圓級測試提供穩(wěn)定可靠的溫控平臺。無錫冠亞恒溫憑借多年工業(yè)溫控經驗,可為客戶提供從設備選型到售后維護的全流程服務,助力提升測試效率與數據準確性。


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