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名稱：雙壓電梁驅(qū)動(dòng)的膜片氣泵
公開（公告）日：2007.01.10
申請(qǐng)（權(quán)）人：清華大學(xué);韓國三星綜合技術(shù)研究院
地址：100084北京市100084-82信箱
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：周兆英;楊興;葉雄英;趙慧貞;羅小兵
摘要
本發(fā)明公開了屬于精密機(jī)械中微型流體泵技術(shù)領(lǐng)域的一種雙壓電梁驅(qū)動(dòng)的膜片氣泵。它包含一個(gè)腔體、兩個(gè)雙壓電梁、一個(gè)帶有單向閥的膜片以及引出電極。其中雙壓電梁一端固支，另一端與膜片的側(cè)邊相連。泵腔內(nèi)的雙壓電梁通入交變電壓驅(qū)動(dòng)膜片在諧振點(diǎn)振動(dòng)，通過膜片上單向閥的作用，使空氣沿一個(gè)方向流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與外界的氣體交換。這種氣泵具有結(jié)構(gòu)簡單、輸出流量大、功耗低、側(cè)面尺寸小、無電磁噪音、可動(dòng)部件少、可靠性高等諸多優(yōu)點(diǎn)，易于推廣應(yīng)用。
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