產(chǎn)品特點：
■臺面材料采用優(yōu)質(zhì)濟南青大理石，表面精度高，耐腐蝕性強
■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)異的隔振性能，自動調(diào)節(jié)水平功能
■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實驗
技術(shù)指標(biāo)：
■平面度：00級
■固有頻率：1.0Hz～1.5Hz
■減振效率：x方向＜5Hz時：86%～92%    y方向＜5Hz時：84%～90%
                 x方向＜10Hz時：90%～96%     y方向＜10Hz時：88%～93%
■振幅：< 1.0μm
■重復(fù)定位精度：±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)

備注：安裝費用1500--5000元，視現(xiàn)場情況而定

裝配地點：上海某光學(xué)科技公司

裝配地點：中山大學(xué)微電子學(xué)院