詳細(xì)介紹
日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù),使其低電壓性能大大提升,同時(shí)升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報(bào)告導(dǎo)出等功能,使其操作也變得更為簡單。
主要特點(diǎn):
應(yīng)用領(lǐng)域: 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車制造等。
主要參數(shù):
主要特點(diǎn):
- HexBias偏壓鎢燈絲電子槍;
- 優(yōu)異的高、低電壓性能;
- 高靈敏度五分割背散射電子探測器;
- 可變壓力二次電子探測器(高、低真空可用);
- 全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能;
- 全自動燈絲設(shè)定和合軸;
- 報(bào)告導(dǎo)出和圖片處理;
- 可集成的EDS;
- 簡單方便的維護(hù)(燈絲更換視頻);
應(yīng)用領(lǐng)域: 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車制造等。
主要參數(shù):
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 加速電壓 | 0.3kV – 30kV |
| 分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
| 15.0nm@1kV (SE) | |
| 4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
| 放大倍率 | 5x – 300,000x(底片倍率) |
| 7x – 800,000x(顯示器倍率) | |
| 探測器 | 二次電子探測器,高靈敏度無分割背散射電子探測器 |
| 可變壓力探測器UVD 2.0* | |
| 低真空可變壓力范圍 | 6 – 650Pa |
| 樣品臺(三軸馬達(dá)) | X: 0 - 100 mm |
| Y: 0 – 40 mm | |
| Z: 5 – 65 mm | |
| R: 0 – 360° | |
| T: -20° - +90° |
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