技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：6 英寸

。曝光波長：365nm：

。功率密度：＞25mW/cm2

。分辨力：1 μm

。正面雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：

既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800倍，物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍；目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

。正面立式雙 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍；具備側(cè)向光源

。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

。對準(zhǔn)精度：±2 μm（雙面，片厚 0.8mm），±0.8 μm（單面）

。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。樣片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸，厚度 0.1mm--2mm(雙面)

。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍），4%（ Ф150 mm 范圍）13

。掩模相對于樣片運動行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：350W（直流，進口）

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

。膠厚：350 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

。光源平行性：3.5°

外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）

配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)

。承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

。光源、電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

。立式雙 CCD 光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng) 14

。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺（無油泵）

?？諌簷C一臺 （音靜泵）

。管道