JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)

JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為T(mén)EM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過(guò)與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

• 產(chǎn)品規(guī)格
• FIB
• 離子源：Ga （鎵）液態(tài)金屬離子源
• 加速電壓：1～30ｋV（5 kV/步）
• 放大倍率：×60 （用于視場(chǎng)搜索），×200～×300,000
• 圖像分辨率：5 nm (30 kV)
• 束流：60 nA (at 30 kV)
• 可變光闌：12 檔(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))
• 離子束加工形狀：矩形、線狀、點(diǎn)狀
• 樣品臺(tái)：.塊狀樣品用 5 軸測(cè)角樣品臺(tái)，X:±11 mm
  Y:±15 mm
  Z:0.5 ～ －23 mm
  T:－5 ～ ＋60°
  R:360°無(wú)限
  樣品尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ）

· 主要附件

· 氣體注入系統(tǒng) (IB-02100GIS2)

· 碳沉積圓筒 (IB-52110CDC2)

· 鎢沉積圓筒(IB-52120WDC2)

· 白金沉積圓筒 (IB-52130WDC2)

· 側(cè)插式測(cè)角樣品臺(tái) (IB-01040SEG)

· 束流探測(cè)器 (IB-04010PCD)

· 操作面板(IB-05010OP)

· 樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng) (IB-01200SNS)

· FIB Tip-on(上可以安裝附件的)樣品架(EM-02210)

· FIB 塊狀樣品用樣品架FIB (EM-02220)

· FIB 塊狀樣品用樣品架1(EM-02560FBSH1)

· FIB 塊狀樣品用樣品架2 (EM-02570FBSH2)

· FE-SEM 樣品架適配器 (EM-02580FSHA)

· 穿梭移動(dòng)夾頭Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

· 原位樣品提取系統(tǒng) (EM-02230)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為T(mén)EM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過(guò)與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

· 高性能FIB鏡筒

· JIB-4000采用高性能的FIB鏡筒，離子束流高達(dá) 60 nA，能進(jìn)行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，制備100 μｍ以上用來(lái)觀察的截面非常輕松。

· 用戶友好的FIB裝置

· JIB-4000高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計(jì)，建立了使用方便的FIB系統(tǒng)。即使不是FIB專(zhuān)家也能夠輕松操作，此外，該裝置小巧緊湊為業(yè)界最小體積，安裝地點(diǎn)的選擇范圍很大。

· 雙樣品臺(tái)

· JIB-4000標(biāo)配的塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側(cè)插式測(cè)角臺(tái)（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)能觀察整個(gè)表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品，樣品交換可以通過(guò)氣鎖式系統(tǒng)快速進(jìn)行。側(cè)插式測(cè)角臺(tái)與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同，因此Tip-on （上可以安裝附件的）樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用，這樣，F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進(jìn)行。

· 豐富的附件

· 有各種附件可用來(lái)支持JIB-4000的操作。包括對(duì)電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng)，對(duì)特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過(guò)給JIB-4000安裝適當(dāng)?shù)母郊撓到y(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。