·帶有觀測窗和樣品加熱臺的真空泵
·工作站含有操作軟件，可自動控制樣品溫度
·TPD常規(guī)分析，包括質(zhì)譜峰的積分和反褶積計算等

· 密閉、自動裝樣器

·智能操作軟件控制實驗操作

·帶脈沖離子技術(shù)檢測器的三級過濾四極質(zhì)譜儀（Hiden 3F/PIC）
·質(zhì)量數(shù)范圍：          1~300、510、1000amu
·快速質(zhì)譜數(shù)據(jù)采集：  ＞500數(shù)據(jù)點/秒
·樣品可加熱到1000℃

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

TPD Workstation Flyer (3.2 MB)

Instruments for diagnostics and analysis of thin films

TPD Workstation Software (906 KB)