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分子束外延沉積速率監(jiān)測(cè)/控制系統(tǒng) 控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Hiden’s XBS system provides in-situ monitoring of multiple sources with real-time signal output for precise control of the deposition.

詳細(xì)介紹

XBS三級(jí)濾過(guò)四極質(zhì)譜(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System),適于精確的MBE分析,其他氣體分析和科學(xué)實(shí)驗(yàn)使用。Windows™ 界面的MASsoft軟件通過(guò)RS232、RS485 或以太網(wǎng)控制。

 

·離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜
·靈敏度增強(qiáng)用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸,自動(dòng)質(zhì)量數(shù)范圍列表

·一級(jí)過(guò)濾處增加射頻,抗污染物能力增強(qiáng)
·內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩

 

·靈敏度高,檢測(cè)范圍:  至5ppb

·質(zhì)量數(shù)范圍:              0~ 510amu
·長(zhǎng)期穩(wěn)定性:              24h以上,峰高變化小于±0.5%)
·交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 ±35°
·2mm 束接受孔,也可為特殊使用者配置
·分子束研究中,檢測(cè)極限低至30 ions/s
·監(jiān)測(cè)生長(zhǎng)速率:       1? / min,或更低

XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process (390 KB)

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)


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