名稱

內容

測量范圍

Z軸（垂直）

160μm

X軸（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.02μm/±160μm

測量

項目

參數

Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt Rmax

Rp Rv R3z R3y Rz(JIS)

Rs Rsk Rku Rsm Rmr

RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2

標準

ISO，ANSI，DIN，JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC，PC-RC，Gauss，D-P

取樣長度(lr)

0.25，0.8，2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm\2μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

硬質合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s

lr=0.8, Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5, Vt=1mm/s

返回 Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內置鋰離子充電電池，用DC5V，800mA充電器充電

外形尺寸

158*63.5*46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：-20℃~40℃，濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：-40℃~60℃，濕度：< 90% RH

參數

顯示范圍

Ra,Rq

0.005μm-16μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm-160μm

RSk

0-*

RS,RSm

1mm

tp

0-*