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詳細摘要： 產品描述：OTL-PECVD-1200三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛...

詳細摘要： 產品描述：OTL-PECVD-1200 PECVD系統(tǒng)系統(tǒng)，由OTL1200-S小型真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。

詳細摘要： 產品描述：VTF-PECVD-1200立式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，...

詳細摘要： 產品描述：OTL-PECVD-1200-1400-1200三臺滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電動拖動機構組成。

詳細摘要： 產品描述：OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅...