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按理論計算，電子顯微鏡分辨本領(lǐng)的極限在3埃左右。此值與2~3種金屬原子的大小處于同一數(shù)量級，這就意味著用電子顯微鏡有可能直接看到原子。

市場上出售的電子顯微鏡，根據(jù)其分辨本領(lǐng)可分為：超高分辨本領(lǐng)級、高分辨本領(lǐng)級、普通分辨本領(lǐng)級三等。

超高分辨本領(lǐng)級：達(dá)到原子水平的分辨本領(lǐng)，可把原子一個一個分別開觀察。

高分辨本領(lǐng)級：只能把數(shù)個原子組成的集團作為一個點來觀察。

普通分辨本領(lǐng)級：大于20埃的分辨本領(lǐng)。

	超高分辨本領(lǐng)級	高分辨本領(lǐng)級	普通分辨本領(lǐng)級
分辨本領(lǐng)	<10(1nm)	10-20	20<
直接放大率	-200,000	-100,000	-10,000
加速電壓(千伏)	100	80-100	50
聚光鏡	雙聚光鏡	雙聚光鏡	單聚光鏡
消像散裝置	不可缺	不可缺	不可缺
電源穩(wěn)定度	＜10-5	10-4-10-5	＜10-4
真空度(毫米汞柱)	10-5	10-4-10-5	-5×10-4

實驗室獲得電子顯微鏡分辨率本領(lǐng)理論極限值的意義：僅僅考慮電子束和透鏡系統(tǒng)而推算出來的。作為實驗室必須考慮到鏡體的振動，樣品漂移的穩(wěn)定性，外部磁場的影響，樣品和透鏡光闌的“污染"，合軸調(diào)整，消像散等許多因素。

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