潔凈室的環(huán)境主要品質(zhì)是空氣潔凈度,即對空氣的微粒濃度的要求,但是由于在潔凈環(huán)境中所進行的工作往往具有特殊性,所以對潔凈環(huán)境的品質(zhì)也往往還有其它的要求。
一、空氣潔凈度與潔凈標(biāo)準(zhǔn)
空氣潔凈度的高低用空氣潔凈度級別來區(qū)分。而這種級別又是用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示的。也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度止,這一個含塵濃度范圍定為某一個空氣潔凈度級別。
二、氣流速度
在潔凈室內(nèi),一方面是送入潔凈空氣對室內(nèi)污染空氣進行稀釋,另一方面是加速排出室內(nèi)濃度高的污染空氣,所以潔凈室內(nèi)空氣的流速既要有一定的速度,才能防止其他因素的擾亂,但又不能太大,流速太大將使室內(nèi)積塵飛揚,造成新的污染。
三、壓力
潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
四、溫、濕度
溫度對生產(chǎn)工藝的影響,主要是從產(chǎn)品精度和合格率來考慮的。另一方面也從污染角度考慮。濕度太高會使物體表面的灰塵難以清除。但是相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面,在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間,靜電會使半導(dǎo)體器件發(fā)生擊穿。
五、空氣新鮮度
空氣潔凈度是指空氣含有的灰塵微粒濃度的高低而言。并且和具體的級別相聯(lián)系。實際上這樣的潔凈只是物理學(xué)上的意義,是廣義上的潔凈度。而從化學(xué)和生理學(xué)角度看,應(yīng)用保證潔凈空間內(nèi)氧氣的數(shù)量和質(zhì)量以及負(fù)氧離子量。
六、噪聲
噪聲使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧、比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱。對工作效率的影響與對綜合通訊的干擾。
七、照度和眩光
照度由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求,而且又都是密閉性房屋。所以對照明有很高的要求。照度是關(guān)于照明量的指標(biāo),而照明質(zhì)量的指標(biāo)則采用眩光這一概念。如果照明的明亮度得到滿足,但若由于眩目而無法工作,則這種照明效果是不好的。
八、靜電
潔凈室中由于靜電引起的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。

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