分析探針臺T2000

    顯微鏡成像系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

    ●無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管鏡焦距200mm

    ●鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒，30°傾斜，瞳距55-75mm

    ●高眼點(diǎn)，大視場目鏡WF10X/25

    ●長工作距離，平場復(fù)消色差物鏡2X/0.055,5X/0.14,10X0.28,20X/0.29,50X/0.42

    ●五孔物鏡轉(zhuǎn)換器，物鏡螺紋M26X0.706

    ●同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動格值0.002mm

    ●100W鹵素?zé)艄饫w照明

    ●1800萬象素高清數(shù)碼成像采集系統(tǒng)

    ●imageAnalysisSyste11.0專業(yè)的圖像預(yù)覽分析軟件

    探針臺部分技術(shù)參數(shù)：

    ?尺寸:500mmW*500mmD*700mmH

    ?6"卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨(dú)立控制，中心吸附孔最小可以選擇250微米

    ?卡盤平整度:5μm,標(biāo)準(zhǔn)卡盤可360度無間隙旋轉(zhuǎn)

    ?卡盤旋轉(zhuǎn)微調(diào)+-15°,調(diào)節(jié)精度0.1°

    ?卡盤微調(diào)升降，行程4mm,精度1微米

    ?卡盤X/Y軸無間隙移動，采用大手柄旋轉(zhuǎn)控制，行程：6英寸X6英寸，移動精度：1um，并帶鎖死裝置

    ?可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面2"x2"范圍內(nèi)移動,精度1微米（系統(tǒng)不包含顯微鏡）

    ?可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡，帶自動鎖定功能

    ?平臺快速升降行程6mm并帶自動鎖定功能

    ?平臺上下微調(diào)行程25mm，升降精度1um

    ?平臺可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位