微量氣體分析儀 它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 （檢測(cè)感度可至10ppb） 連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所以沒(méi)有零點(diǎn)漂移，能夠獲得*穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過(guò)19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。

產(chǎn)品介紹

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，沒(méi)有零點(diǎn)漂移，可以獲得*穩(wěn)定的連續(xù)檢測(cè)值。

不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，維護(hù)性得到了提高。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）、失火報(bào)警（GA-360E）、電源斷開(kāi)的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

測(cè)量原理	GA-360E:交替流動(dòng)調(diào)制方式非分散紅外線(xiàn)分析法
GA-360E	交替流動(dòng)調(diào)制方式火焰電離檢驗(yàn)方法
檢測(cè)對(duì)象氣體	GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)可選取2種成分
檢測(cè)量程	GA-360E:0?1/2/5/10ppm