半導(dǎo)體用超純水設(shè)備

半導(dǎo)體用超純水設(shè)備

一、超純水設(shè)備應(yīng)用廣泛，工業(yè)制造領(lǐng)域只要涉及到水的大部分需要進(jìn)行過濾凈化處理，一般工業(yè)用水要求是去離子水，也是除鹽水。工業(yè)純水設(shè)備滿足這些使用需求，而且也是經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的純水制取方法。

 二、系統(tǒng)組成

     預(yù)處理：一般包括原水泵、加藥裝置、石英砂過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等。其主要作用是降低原水的污染指數(shù)和余氯等其他雜質(zhì)，達(dá)到反滲透的進(jìn)水要求。預(yù)處理系統(tǒng)的設(shè)備配置應(yīng)該根據(jù)原水的具體情況而定。

      反滲透：主要包括多級高壓泵、反滲透膜元件、膜殼(壓力容器)、支架等組成。其主要作用是去除水中的雜質(zhì)，使出水滿足使用要求。

      后處理：是在反滲透不能滿足出水要求的情況下增加的配置。主要包括陰床、陽床、混床、殺菌、超濾、EDI等其中的一種或者多種設(shè)備。后處理系統(tǒng)能把反滲透的出水水質(zhì)更好的提高，使之滿足使用要求。

 三、反滲透裝置常見故障分析如下：

一、在初始設(shè)計時選擇高壓泵的揚(yáng)程偏低，在溫度或進(jìn)水水質(zhì)發(fā)生變化時引起產(chǎn)水量達(dá)不到設(shè)計要求；

二、膜元件被氧化引起水通量增加及產(chǎn)水水質(zhì)下降；

三、鹽水密封圈倒置引起實(shí)際回收率過高而產(chǎn)生結(jié)垢及水質(zhì)下降現(xiàn)象；

四、鹽水密封圈破損引起實(shí)際回收率過高而產(chǎn)生結(jié)垢即水質(zhì)下降現(xiàn)象；

五、O型圈破損引起產(chǎn)水水質(zhì)下降