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無塵室，也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。較準(zhǔn)確地講，一個潔凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有(如沒有受控的微生物)，較多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。

無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。潔凈室被廣闊地應(yīng)用在對環(huán)境污染的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、機械、制藥行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

無塵室系統(tǒng)制造適合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過高性能過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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