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用于半導體的 Helios G4 UC DualBeam

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產品型號Thermo Scientific

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更新時間：2024-08-11 09:23:25瀏覽次數(shù)：378次

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產品簡介

科學家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn)、需要對越來越復雜的樣品的更小特征進行高度局部表征。Thermo Scientific HeliosG4 UC DualBeam 顯微鏡的較新技術創(chuàng)新，結合較易使用、較全面的軟件和賽默飛世爾科技的應用專業(yè)知識，可為廣泛的材料較快速、較容易地制備 HR-s/TEM 樣品。

詳細介紹

結合可選的 Auto Slice View 4 (ASV4) 軟件，Helios G4 UC 可實現(xiàn)高質量、全自動采集多模態(tài) 3D 數(shù)據(jù)集。這些數(shù)據(jù)集包括用于較大材料對比度的 BSE 成像、用于組成信息的能量色散光譜學 (EDS) 和用于微觀結構和晶體學信息的電子背散射衍射 (EBSD)。結合 Avizo 可視化軟件，可提供的工作流程解決方案，以實現(xiàn)納米級的較高分辨率、的 3D 表征和分析。

體驗 Helios G4 UC 的優(yōu)點

使用 Tomahawk 離子鏡筒可較快速、較容易地制備高質量、位點特異性 TEM 和 APT 樣品
使用同類較佳 Elstar 電子鏡筒獲得納米級信息的時間較短
憑借具有更高電流的下一代 UC+ 單色器技術，可以在低能量下實現(xiàn)亞納米性能，從而顯示較為細致的細節(jié)信息
可通過多達 6 個集成在鏡筒內和透鏡下的集成檢測器獲得具有清晰、精確且無電荷的對比度的較完整樣品信息
使用可選的 Auto Slice View 4 (ASV4) 軟件，可提供較高質量、多模態(tài)亞表面和 3D 信息，較精確地瞄準目標區(qū)域
對復雜結構進行快速、準確、精確的銑削和沉積，臨界尺寸小于 10 nm
由于 150 mm Piezo 載物臺和腔內 Nav-Cam 的高穩(wěn)定性和準確性，可根據(jù)個體應用需求定制精確的樣本導航
基于集成樣品清潔管理和專用成像模式（如 SmartScan和 DCFI 模式）的無偽影成像

特色文檔

Helios G4 UC 數(shù)據(jù)表

Helios G4 UC 是行業(yè)的 Helios DualBeam 系列第四代產品的一部分。它經過精心設計，以滿足科學家和工程師的需求，將創(chuàng)新的 Elstar 電子鏡筒與高電流 UC + 技術結合，以實現(xiàn)較高分辨率成像和較高的材料對比度，與的 Tomahawk 離子鏡筒結合，用于較快、較容易、較精確的高質量樣品制備。