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W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵

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產品簡介

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應用- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝- 進樣室，轉移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統技術特點- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統- 軸承系統的數字監(jiān)控- 噪聲和振動低- 任意方向安裝- 的轉子設計，實現高......

詳細介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統

技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統

- 軸承系統的數字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉子設計，實現高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統

- CT版集成溫度管理系統（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統

- 軸承系統的數字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉子設計，實現高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統

- CT版集成溫度管理系統（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統

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典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統

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技術參數				TURBOVAC MAG
		W 2800 C		W 2800 CT W 2800			W 3200 CT
進氣口		DN	250 ISO-F		250 ISO-F	250 CF		320 ISO-F
PNEUROP的抽速
氮氣		I x s-1	2650		2650	2650		3200
氬氣		I x s-1	2450		2450	2450		3000
氦氣		I x s-1	2650		2650	2650		3000
氫氣		I x s-1	2100		2100	2100		2250
額定轉速		min-1	28 800		28 800	28 800		28 800
壓縮比
氮氣			1 x 108		1 x 108	1 x 109		1 x 108
極限壓強，根據 DIN 28 400		mbar	< 10-8		< 10-8	< 1 x 10-10		< 10-8
		(Torr)	(< 0 75 x 10-8)		(< 0 75 x 10-8)	(< 0 75 x 10-10)		(< 0 75 x 10-8)
前級耐壓（對氮氣）對流冷卻時水冷卻時		mbar (Torr)mbar (Torr)	– 2 0 (1 5)		– 2 0 (1 5)	0 3 (0 23) 3 0 (2 3)		– 2 0 (1 5)
推薦的前級泵
抽速達100 m3/h的旋片泵或干泵			TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS
啟動時間	min		< 10		< 10	< 10		< 10
出氣口外形尺寸	DN		40 ISO-KF		40 ISO-KF	40 ISO-KF		40 ISO-KF
吹掃和破空口			1/4" VCR		1/4" VCR	DN 10/16		1/4" VCR
冷卻水接口	Swagelok tube		1/4"		1/4"	1/4"		1/4"
重量（近似）	kg (lbs)		64 (141 3)		64 (141 3)	75 (165 6)		65 (143 5)