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行業(yè)產(chǎn)品

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安博元科技無錫有限公司


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W1500CT TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地無錫市

聯(lián)系方式：陶女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-09-13 07:29:40瀏覽次數(shù)：323次

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產(chǎn)品簡介

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應用- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝- 進樣室，轉(zhuǎn)移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術特點- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動低- 任意方向安裝- 的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高......

詳細介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)


技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕


客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)


更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info


技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕


客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)


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技術參數(shù) TURBOVAC MAG W 1500 CT

進氣口

DN

200 ISO-F

250 ISO-F

200 CF

PNEUROP的抽速





氮氣

I x s-1

1100

1220

1100

氬氣

I x s-1

1050

1180

1050

氦氣

I x s-1

1100

1200

1100

氫氣

I x s-1

920

1020

920

額定轉(zhuǎn)速

min-1

36 000

36 000

36 000

壓縮比





氮氣


> 108

> 108

> 108

極限壓強，根據(jù) DIN 28 400






mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-10 (< 0 75 10-10)

前級耐壓（對氮氣）

mbar (Torr)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

推薦的前級泵





抽速達100m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

啟動時間





達95%名義轉(zhuǎn)度時

min

< 6

< 6

< 6

出氣口外形尺寸

DN

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

吹掃和破空口

VCR

1/4"

1/4"

1/4"

冷卻水接口





（管道外徑）

mm (in )

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

重量（近似）

kg (lbs)

32 (70 6)


32 (70 6)

32 (70 6)










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