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DVM80渦輪分子泵

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更新時(shí)間：2024-08-08 10:58:51瀏覽次數(shù)：148次

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登弗真空設(shè)備（上海）有限公司

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DVM80渦輪分子泵DVM渦輪分子泵非常適合應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)超高真空的需求

詳細(xì)介紹

DVM80渦輪分子泵

DVM渦輪分子泵非常適合應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)超高真空的需求。分子泵采用精密脂潤(rùn)滑陶瓷軸承，免維護(hù)時(shí)間遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于采用油潤(rùn)滑軸承分子泵，相比油潤(rùn)滑軸承分子泵，其更適合潔凈氣體的抽吸。

主要應(yīng)用場(chǎng)景：

1. 適合抽吸潔凈氣體、少量水蒸氣、微量腐蝕性氣體

2. 適合應(yīng)用于物理、半導(dǎo)體領(lǐng)域的配套裝置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步輻射

3. 適合配套實(shí)驗(yàn)室深冷研究裝置

4. 適合配套分析實(shí)驗(yàn)裝置，如：電鏡、質(zhì)譜、生物質(zhì)譜分析裝置

5. 適合配套超高真空提取SAFE裝置

主要特點(diǎn)：

1. DVM分子泵采用KF真空接口模塊，極限真空可達(dá)5×10^-7mbar（自適應(yīng)中等轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）

2. DVM分子泵采用CF真空接口模塊，極限真空可達(dá)2×10^-9mbar (極限真空取決于接口密封形式，非分子泵的性能指標(biāo)；自適應(yīng)到轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）

3. 分子泵前級(jí)泵（要求小于5mbar）可選：干式隔膜真空泵、干式變頻渦卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺桿真空泵、旋片真空泵（油泵）等