一，德國LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途
低溫冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作壓強范圍寬、極限真空度高(氣氦制冷機低溫冷凝泵可以達到10-10Pa,
液氦型低溫冷凝泵可以達到10-13Pa)的真空泵，而且可以抽除所有氣體，能獲得全無油清潔真空。由于具有這些突出的優(yōu)點，
氣氦制冷機低溫冷凝泵在需要大抽速、超高清潔真空的半導(dǎo)體、新型顯示器件及其他高科技研究和產(chǎn)業(yè)中獲得了Et益廣泛的應(yīng)用。
低溫冷凝泵的缺點是價格很高，運行中需要再生而不能*連續(xù)抽氣。
擴散泵系統(tǒng)是比較常用的高真空系統(tǒng)，一般可以獲得10-1～10-5Pa的工作真空，使用特別設(shè)計的擴散泵及采用性能良好的擴散泵油，
再在泵的人口端使用擋油板和液氮冷阱，加以充分的烘烤除氣措施，可以獲得10-7Pa的極限真空。擴散泵系統(tǒng)的特點是對各種氣體都能抽除，
適宜長時間連續(xù)工作，擴散泵沒有噪聲，價格比較低。缺點是開啟或停止系統(tǒng)工作很耗時，工作效率低，油污染嚴重。
用機械泵作為前級泵的渦輪分子泵系統(tǒng)，是目前常用的高真空系統(tǒng)，有取代擴散泵系統(tǒng)的趨勢。分子泵系統(tǒng)可以獲得10-1～10-6Pa的工作真空，
可達到lO-8Pa的極限壓強。分子泵系統(tǒng)的優(yōu)點：對各種氣體的抽速差別不大，起動快、油污染很輕，稱之為半無油系統(tǒng)；能耗較低，
容易做到自動控制。