技術(shù)文章
表面潔凈度測試儀操作簡單易學(xué)
發(fā)布時間:2025-11-11表面潔凈度測試儀
一、儀器介紹
概述:
表面潔凈度測試儀采接觸式,量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體,面板廠,設(shè)備商與所有清潔部件廠商,驗證部件表面是否干凈的檢驗標(biāo)準(zhǔn)工具,人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子,這些粒子會快速沉降,逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上,從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
ISO14644-9:2022《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》
二、儀器參數(shù)
技術(shù)參數(shù):
控制系統(tǒng):PLC
操作界面:7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器,流量自動閉環(huán)控制
光源: 進(jìn)口激光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um(可根據(jù)客戶需求定制,最多八個通道)
最大飽和濃度:2000000/ft3(5%)
自凈時間:≤10min
測量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔凈度等級:1~9級
采樣頭規(guī)格:φ36.5
數(shù)據(jù)單位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表面類型:圓形、方形
表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數(shù)據(jù)單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據(jù)探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸),自動計算出表面積。
打印功能:熱敏打印機
數(shù)據(jù)儲存:可儲存100000組數(shù)據(jù)
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源:AC220V 50Hz 150W (可選帶鋰電池組)
基本配置
主機 一臺
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份
電源線1份
扳手1套
保修卡 一個
銘牌 一個

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