尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030
NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測(cè)量，還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置

尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030
 

 

NIKON VMR-H3030高精度影像測(cè)量?jī)x，精密機(jī)型，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)水平的不確定性(300 x300x150mm載物臺(tái))。 NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測(cè)量，還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進(jìn)行自由切換，以滿(mǎn)足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有較高精度，加上其合理的布局以及堅(jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì)，使 NEXIV VMR-H3030 的測(cè)量不確定度達(dá)到了亞微米級(jí)，可以滿(mǎn)足精密模具的檢測(cè)需求。
NIKON VMR-H3030高精度影像測(cè)量?jī)x，適于用作精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備；
3個(gè)型號(hào)（1、2、3 型）各自有 5 級(jí)放大倍率，可滿(mǎn)足不同視場(chǎng)及倍率要求；
有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準(zhǔn)確探測(cè)的需求；
較長(zhǎng)的工作距離（50毫米），可滿(mǎn)足測(cè)量對(duì)工件高度方向的空間需求；
高達(dá)15倍的變焦比，可以滿(mǎn)足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。與無(wú)級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比，采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測(cè)量更加快速、準(zhǔn)確。
應(yīng)用領(lǐng)域：精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備，模具及精密機(jī)械零件測(cè)量。精密掩模板

精密機(jī)械零件

 

 

尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

Z120X 型（帶高倍頭）
具有高精度的載物臺(tái)，與高倍頭配合使用，能夠準(zhǔn)確測(cè)量工件的細(xì)微部位（如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸）光學(xué)放大倍數(shù)zui高可達(dá)120X，能夠測(cè)量微距線(xiàn)寬；
高速、高精度的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸，進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測(cè)量；
可以分別測(cè)量刻線(xiàn)的上下寬度；
激光自動(dòng)掃描功能，可以用來(lái)測(cè)量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等；
可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。
應(yīng)用領(lǐng)域：各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板,倒裝芯片上的凸點(diǎn),芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示

 

適用產(chǎn)業(yè)：研究實(shí)驗(yàn)室、高精度模具、光罩微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓凸點(diǎn) … 等。

 

隨著科技的日新月異，產(chǎn)品的規(guī)格要求越來(lái)越精細(xì)，使得量測(cè)工具必須能配合產(chǎn)品跟著提高精度，一般的量測(cè)儀器已無(wú)法滿(mǎn)足工業(yè)界量測(cè)上的需求。 VMR-H3030 以高精密度和多樣性功能提供給您量測(cè)質(zhì)量。

 NIKON 采用雙 Y 軸光學(xué)尺，可校正載物臺(tái)移動(dòng)時(shí)可能會(huì) 造成的扭力變形，并改良光學(xué)尺的刻度。

 為了避免震動(dòng)影響到量測(cè)結(jié)果的正確性， VMR-H3030 改良了機(jī)體的結(jié)構(gòu)，增加了抗動(dòng)性以減低震 動(dòng)對(duì)量測(cè)所造成的影響。

高精度載物臺(tái)的設(shè)計(jì)，對(duì)于 XY 方向移動(dòng)所可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力，因而導(dǎo)致載物臺(tái)不在原定光學(xué)尺 的軌道上滑動(dòng)，使得量測(cè)數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差的六大因素，進(jìn)行矯正預(yù)防措施。

 技術(shù)參數(shù)：

機(jī)型		VMR H3030	VMR H3030-Z120X
行程 (XxYxZ) mm		300 x 300 x 150
讀值		0.01 μm
承重		30kg
量測(cè)精度	U 1X U 1Y	0.6+ 2L /1000μm
	U 2XY	0.9+ 3L /1000μm
	Z Axis	0.9+ L/150μm
攝影機(jī)		B & W CCD (progressive) ; Color CCD
工作距離		50 mm	高倍	9.8 mm
			低倍	32 mm
倍率 ─ 視野	Type 1	0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm		1X -- 4.67 x 3.5 mm 120X -- 0.039 x 0.029 mm
	Type 2	1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm
	Type 3	2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm
自動(dòng)對(duì)焦方式		TTL 雷射對(duì)焦和影像對(duì)焦
光源種類(lèi)		底部光、表面光 LED 環(huán)形光 ( 內(nèi)環(huán) / 外環(huán) )		底部光 ( 高倍光學(xué)頭 ) 表面光、暗視野
電源		AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
電力消耗		Max. 7A
外觀尺寸與重量(W x D x H) mm	僅主體	915 x 1060 x 1300 約 450kg
	主體與防震桌	1000 x 1100 x 1900 約 570kg
	控制箱	250 x 550 x 500 約 31kg
接地尺寸 (W x D) mm		2400 x 1400