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詳細介紹
產(chǎn)品詳情
高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·常規(guī)桶型。
PR500：手動控制
PR510：自動觸摸屏控制
此款低溫等離子灰化機采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
等離子灰化機PR500/501規(guī)格
| 型號 | PR500 | PR510 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | ||
| 控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | ||
| 反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ） | ||
| 控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
| 外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
| 重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
| 電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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