直線度誤差是指實際直線對理想直線的變化量，反映了被測直線的不直程度。根據(jù)ISO*的標準和國家標準，直線度誤差可分為給定平面內(nèi)的直線的誤差、給定方向的直線度誤差和任意方向內(nèi)的直線度誤差。通常，給定平面內(nèi)的直線度誤差和給定方向內(nèi)的直線度誤差被稱為平面直線度誤差，任意方向內(nèi)的直線度誤差被稱為空間直線度誤差。

深孔表面為回轉(zhuǎn)體表曲，深孔直線度公差帶根據(jù)要素的特征及其使用要求，分為限制圓柱面直母線形狀誤差的兩平行直線和限制圓柱體軸線形狀誤差的圓柱體兩種。深孔直線度檢測是精密深孔零件加工過程中的重要組成部分，是對深孔零件進行質(zhì)量控制和管理的重要手段。是貫徹質(zhì)量標準的技術保證，有著極其重要的意義。

本文介紹的是激光測量法對深孔內(nèi)徑直線度進行檢測的方法。檢測設備的基本原理是利用直線性非常好的激光為參照，通過PSD傳感器可精確定位光的能量中心位置的功能來實現(xiàn)對內(nèi)孔直線度的檢測。

直線度測量儀軟件圖：

PSD是利用離子注入技術制成的一種可確定光的能量中心位置的結(jié)型光電器件，它的優(yōu)點主要有：1、對光斑形狀無嚴格要求，在光聚焦不理想的情況下也不影響測量精度；2、光敏面上無象限分割線，消除了測量死區(qū)；3、對光斑位置可連續(xù)測量。4、測量精度高，一維精度可達0.2um。本方案選取的PSD為二維的，光的能量中心位置以“X軸，Y軸”的坐標值顯示（如圖1所示），測量精度為±15um。計入其他誤差后檢測精度為±0.05mm。

PSD芯片監(jiān)測到的激光能量中心位置信號將通過數(shù)據(jù)采集電路采集、放大并進行數(shù)字化處理后傳輸?shù)缴衔粰C進行處理。

總之，集光、機、電、計算機等新技術于一體的新型激光準直測量儀器，可以對深孔零件進行實時快速非接觸測量，是精密深孔直線度測量技術的發(fā)展方向。