型號

Genesis-500    分析型掃描電鏡

樣品臺

五軸優(yōu)中心，全手動

X: 40mm

Y: 40mm

Z: 5-45mm

R: 360°無限

T: -20°~90°

電子槍

預對中鎢燈絲 三極自動偏壓

加速電壓

200V-30KV （大發(fā)射電流190μA @ 30KV/大電子槍功率：5.7W)

探測器

ET-SED

物鏡光闌

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可變光闌

分辨率

4nm @30KV ( SEI)

放大倍數(shù)

10-300,000 X

樣品室

內(nèi)徑φ150mm，Se、Bse、EDS等探測器接口

大樣品尺寸

Φ96mm X 50mm

工作距離

0-45mm

掃描光柵運動

電位移 ±50μm， 電旋轉(zhuǎn) 0-360°

掃描模式

聚焦模式：320X240 像素 ，用戶可自定義可移動；

TV模式：800x 600像素 ；

慢掃描模式，用于TV及聚焦模式；

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200，大3200x2400像素；

動態(tài)聚焦，傾斜補償

圖像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空優(yōu)于9x10-3Pa

真空系統(tǒng)

全自動真空系統(tǒng)，真空高壓連鎖安全保護（高真空時間小于3分鐘）

-渦輪分子泵       
-旋片式機械真空泵    
-電動閥門系統(tǒng)：真空閘板閥、電磁閥等    

自動功能

亮度/對比度, 聚焦,   電子槍對中、偏壓、飽和，物鏡光闌搖擺對中，自動照相，自動大圖拼接縫合。

軟件系統(tǒng)

基于Win8，Virtuoso1.1控制軟件. 內(nèi)嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。*鼠標鍵盤操作。

主機尺寸/重量

600(W）x623（D）x 1350（H）mm /120kg

電源

單相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

預對中燈絲，樣品托，碳導電膠帶，導電銀膠，工具

可選配置

四象限BSED | 3D重構(gòu)成像軟件 | EDS能譜儀|