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南通華林科納半導體設備有限公司
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所 在 地南通市
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更新時間：2025-02-13 09:14:36瀏覽次數(shù)：164次
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溝槽腐蝕機-概述1.1設備概況：主要功能：本設備主要手動搬運方式，通過對si片腐蝕、漂洗、等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的效果
溝槽腐蝕機- 概述 1.1 設備概況： 主要功能：本設備主要手動搬運方式，通過對si片腐蝕、漂洗、等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的效果。 1.1.1 設備名稱：溝槽腐蝕機 1.1.2 設備型號：-SC-N601 1.1.3 整機尺寸(參考)：約2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)； 1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸 1.1.5 設備形式:室內放置型; 1.1.6 操作形式：手動 1.2 設備組成 該設備主要由清洗部分、抽風系統(tǒng)及電控部分組成 設備工藝走向：參照本方案臺面布局圖 1.3 設備描述 ●此裝置是一個半自動的處理設備。 ●8.0英寸PROFACE 人機界面顯示 / 檢測 / 操作 ●主體材料：10mmPP板，優(yōu)質不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐； ●化學槽槽體材料：德國勞士領 10mm PVDF板； ●純水槽槽體材料：德國勞士領 10mm NPP板； ●臺面板為10mm PP板（帶有菱形漏液孔）； ●DIW主管路及構件采用日本進口clean-PVC管材，支管路及閥件采用PFA材質，需滿足18M去離子水水質要求；酸 堿管路材質為進口PFA/PVDF； ●采用國際標準生產加工，焊接組裝均在萬級凈化間內完成 ●排風：位于機臺后下部 ●工作照明：上方防酸型白光照明 ●歐姆龍/三菱 PLC控制。 ●安全考慮： 1. 設有EMO(急停裝置)， 2. 強電弱點隔離 3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面 4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge） 5. 設備三層防漏 樓盤傾斜 漏液報警 設備整體置于防漏托盤內 6. 排放管路加過濾裝置 7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動排液時，同時切斷泵啟動。 8 槽內配液位開關，無液不循環(huán)。 半導體設備； ，，
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