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行業(yè)產品

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南通華林科納半導體設備有限公司


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甩干機—華林科納CSE

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地南通市

聯(lián)系方式：嚴先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-02-13 08:59:46瀏覽次數(shù)：275次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

聯(lián)系人：嚴先生 （市場部經理）

產品簡介

甩干機—華林科納Spin-drymachine 設備名稱-甩干機主要功能晶圓或器件的清洗甩干腔體數(shù)量單腔/雙腔/四腔尺寸(參考)約L×D×H＝面寬480mm×縱深820mm×高度1750mm清洗件規(guī)格4寸/5/寸6寸/8寸等尺寸晶圓或器件操作流程人工上貨→DI噴洗加轉子旋轉→HOTN2吹干加轉子旋轉→加速旋干含艙體加熱保溫→完成設備預設之制程結束

詳細介紹

甩干機—華林科納

Spin-dry machine

設備名稱

-甩干機

主要功能

晶圓或器件的清洗甩干

腔體數(shù)量

單腔/雙腔/四腔

尺寸(參考)

約L×D×H＝面寬480mm×縱深820mm×高度1750mm

清洗件規(guī)格

4寸/5/寸6寸/8寸等尺寸晶圓或器件

操作流程

人工上貨→DI噴洗加轉子旋轉→HOTN2吹干加轉子旋轉→加速旋干含艙體加熱保溫→完成設備預設之制程結束。

工作轉速

300—2400r/min

主體構造特點

外觀材質：本體以W-PP10t板材質組焊組合。

設備骨架：SUS25*25*1.2T骨架組合，結構強固。

作業(yè)視窗：視窗采透明壓克力材質，有效掌握作業(yè)情況。

管路系統(tǒng)：OneChamber模塊化。

排風系統(tǒng)：間接式抽風設計，有效穩(wěn)定空氣擾流，并同時減低異味。

機臺支腳：具高低調整及鎖定功能。

機臺正壓保護：采N2正壓保護。

機臺微塵控制量：<>

無刷伺服電機

去靜電

氮氣控制單元

1)管件閥門：SMC電磁閥、PFA高純管件、PTFE氣動閥門。

2)氮氣加熱功能：不銹鋼加熱器在線加熱

3)低壓氮氣功能：待機時，保持腔內正壓，防止污染。

DIW控制單元

1)采用旋流式沖洗噴嘴。

2)排水口安裝電阻率探頭，對腔體排水水質進行監(jiān)測。

3)沖洗工藝完成后，氮氣將殘留在沖洗管路內的去離子水吹凈。

4)待機時，保持回水盒內有水流入且流量可調。

電控單元及軟件系統(tǒng)

1）控制器操作界面：5.7"記憶人機+PLC可程序自動化控制器(人機TouchScreen)。

2）軟件功能：編輯/儲存：制程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作熒幕上修改。

3）儲存能力：記憶模塊：參數(shù)記憶，配方設定。

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關鍵詞：電磁閥 控制器

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