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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地南通市
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更新時(shí)間:2025-02-13 08:52:34瀏覽次數(shù):556次
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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品:66條
所在地區(qū):江蘇南通市
聯(lián)系人:嚴(yán)先生 (市場(chǎng)部經(jīng)理)
干燥系統(tǒng)-華林科納適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術(shù)優(yōu)點(diǎn)NID™干燥系統(tǒng)利用IPA和N2霧化分配
干燥系統(tǒng)-華林科納 適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術(shù) 優(yōu)點(diǎn) NID™干燥系統(tǒng)利用IPA和N2霧化分配,以及晶圓與水脫離時(shí)形 成了表面張力干燥的技術(shù) 適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術(shù) > 可單臺(tái)設(shè)備或整合在濕法設(shè)備中 > 的占地 > 成熟的工藝 > 無(wú)水跡 > 無(wú)碎片 應(yīng)用: 拋光片、集成電路、MEMES、LED、光伏、玻璃基片 一般特征: > 可同時(shí)干燥25到50片直徑為300mm的晶圓 > 適用于標(biāo)準(zhǔn)高邊或低邊花籃 規(guī)格 : 藝時(shí)間: 一般< 10=""> 親水性晶圓片: ≤ 10 增加 @ 0.12 μm 疏水性晶圓片: ≤ 30 增加 @ 0.12 μm 金屬含量: 任何金屬≤ 1?1010 atoms / cm2 增加 干燥斑點(diǎn): 干燥后無(wú)斑點(diǎn) IPA 消耗量: ≤ 30 ml / run 去邊緣: 3 mm 一般安裝參數(shù): 尺寸: 660 x 1440 x 2200 (長(zhǎng) x 寬 x 高) 標(biāo)準(zhǔn)電壓: 3 x 400 VAC 額定功率: 50 Hz 標(biāo)準(zhǔn)電流: 3 x 33 A 培訓(xùn) : 操作、維護(hù)、工藝培訓(xùn) 標(biāo)準(zhǔn): > CE > Semi S2 and S8 > FM 4910 > SECS/GEM 可靠性: > 平均故障間隔時(shí)間 ≥ 800 h > 輔助平均間隔時(shí)間 ≥ 300 h > 可運(yùn)行時(shí)間 ≥ 97 % 干燥系統(tǒng)
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主營(yíng)產(chǎn)品:配液機(jī),IPA干燥機(jī),化學(xué)品恒溫機(jī),化學(xué)試劑分裝機(jī),濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)
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