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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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SPM腐蝕機(jī)-華林科納CSE

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地南通市

聯(lián)系方式：嚴(yán)先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-02-13 08:48:58瀏覽次數(shù)：194次

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產(chǎn)品簡介

SPM腐蝕清洗機(jī)設(shè)備——華林科納華林科納濕法處理設(shè)備是國內(nèi)致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位，多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作，研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備

詳細(xì)介紹

SPM腐蝕清洗機(jī)設(shè)備——華林科納

華林科納濕法處理設(shè)備是國內(nèi)致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位，多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作，研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備。

其中SPM自動清洗系統(tǒng)設(shè)備主要用于LED芯片制造過程中硅片表面有機(jī)顆粒和部分金屬顆粒污染的自動清洗工藝。

設(shè) 備 名 稱

南通華林科納-SPM腐蝕酸洗機(jī)

適 用 領(lǐng) 域

LED外延及芯片制造

設(shè) 備 用 途

硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備

基 本 介 紹

主要功能：通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果

可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等

被清洗硅片尺寸:2-8寸（25片/藍(lán)）

設(shè)備形式：室內(nèi)放置型

操作形式：自動

設(shè)備制造商

南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 ；

全自動半導(dǎo)體SPM腐蝕清洗機(jī)

關(guān)鍵詞：清洗機(jī)

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