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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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雙腔甩干機(jī)

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更新時(shí)間：2025-02-13 08:46:28瀏覽次數(shù)：269次

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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

聯(lián)系人：嚴(yán)先生（市場部經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

雙腔甩干機(jī)1.應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2"4"6"8"晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái)

詳細(xì)介紹

雙腔甩干機(jī)

1. 應(yīng)用范圍:

l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2"4"6"8"晶圓(含)以下之旋乾製程.

l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái)，可同Run 50片.

l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).

l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.

l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.

2. 操作流程

3. 圖示

4. 規(guī)格

l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件

l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750W

l 真空負(fù)封設(shè)計(jì)，隔離槽外污染

l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm

l 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200="" °c="" ±10%="">

l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))

l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)

l Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣

l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨

l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶需求使用訂做

l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動(dòng)態(tài)平衡校正

l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂

故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動(dòng)異常警告

5. 電控系統(tǒng)

l 控制器操作介面: 7"記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen，整合介面) 。

l 軟體功能

? 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?/strong>

? 儲(chǔ)存能力

記憶模組:參數(shù)記憶,配方設(shè)定。

6. 廠務(wù)需求

l 電力需求: AC220V單向 40A (2組電源)

l DI:3/8" PFA Tube, 30~40 psi.

l N2:1/2" PFA Tube, 30~40 psi.

l CDA :1/4" Tube, 30~50psi.

l Drain : 1-1/2" PVC Tube.

l 尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)

立式雙腔甩干機(jī)

關(guān)鍵詞：控制器

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