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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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枚葉式清洗機(jī)-華林科納南通華林科納半導(dǎo)體-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬
枚葉式清洗機(jī)-華林科納 南通華林科納半導(dǎo)體-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng): 單片式清洗裝置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較) 1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng)) 例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子) (參考)槽式200個(gè)/W 2.藥液純水的消費(fèi)量少 藥液…(例)1%DHF的情況 20L/日 純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分 3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去) (推薦)清洗方法 單片式裝置的Particle再附著問(wèn)題 半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納;
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