當前位置：南通華林科納半導體設備有限公司>>集成電路 IC>>晶圓清洗機-CSE

晶圓清洗機-CSE

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地南通市

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：嚴先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-02-13 08:21:49瀏覽次數(shù)：180次

聯(lián)系我時，請告知來自制藥網(wǎng)

暫無信息

南通華林科納半導體設備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

聯(lián)系人：嚴先生（市場部經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

晶圓清洗機設備名稱：晶圓清洗機-產(chǎn)品特點：?針對21英寸外徑或15x15英寸的基底?巨聲環(huán)境清洗艙（可配備去離子水

詳細介紹

晶圓清洗機

設備名稱：晶圓清洗機-

產(chǎn)品特點：

? 針對21英寸外徑或15x15英寸的基底

? 巨聲環(huán)境清洗艙（可配備去離子水, 清洗刷, 熱去離子水, 高壓去離子水, 熱氮氣）

? 化學注射臂

? 帶化學噴射的可變速清洗刷

? 觸屏用戶界面

? 手動上下載

? 安全鎖和報警器

? 占地尺寸30"D x 26"W

可選配項：

? 化學試劑傳送單元

? 白骨化清洗

? 臭氧發(fā)生器

? 氫化雙氧水發(fā)生器

? 高壓雙氧單元

? 硫酸氫過氧化物

? 紅外加熱

? 雙氧水循環(huán)裝置

? 機械手上下載單元

? 帶EFEM和SMIF界面的集群系統(tǒng)

清洗功能	? 晶圓片 ? 藍寶石外延片 ? 晶圓框架上的芯片 ? 顯示面板 ? ITO膜顯示材料 ? 有圖形掩膜和無圖形掩膜 ? 掩膜坯料 ? 薄膜式掩膜 ? 接觸式掩膜
光刻處理工藝	? SPM剝離 ? 光刻膠涂膜 ? 光刻膠剝離工藝
刻蝕	? 金屬刻蝕（鋁，銅，鉻，鈦）
白骨化清洗	? 在晶圓片上注射硫酸和雙氧水的混合液 ? 紅外加熱 ? 刷洗 ? 兆聲雙氧水清洗 ? 熱氮和甩干
去膠/剝離工藝	? 帶紅外加熱的NMP滴膠 ? 刷洗 ? 兆聲雙氧水清洗 ? 熱氮和甩干
CMP溶液清洗	? 用刷洗和兆聲清洗去除CMP顆粒 ? 化學噴射臂 ? 化學噴射罐 ? 為前面和背面刷洗設計的特殊托盤 ? 可調(diào)速的PVA清洗刷 ? 可調(diào)的清洗刷/晶圓接觸壓力 ? 刷式化學噴射
帶膜/不帶膜式掩膜清洗	? 全套清洗（無需更換保護膜） ? 全保護膜 ? 膜式掩膜清洗工藝 1) 掩膜背面清洗后兆聲雙氧水清洗刷式清洗化學清洗熱氮甩干 2)熱氮甩干