測(cè)試的物件連接到一個(gè)測(cè)試平臺(tái)適配器上；部件內(nèi)部通過(guò)乙二醇水溶液來(lái)冷卻和加熱測(cè)試；測(cè)試部件需要經(jīng)歷一個(gè)特定的溫度變化曲線，并且記錄溫度的變化。半導(dǎo)體冷水機(jī)-高低溫測(cè)試
溫度變化的范圍通常從-25到100度，進(jìn)行耐受性測(cè)試

    半導(dǎo)體冷水機(jī)是指應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著科技的不斷發(fā)展，它的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用，使得現(xiàn)代超精密制造、加工、測(cè)量?jī)x器對(duì)工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機(jī)為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備。半導(dǎo)體冷水機(jī)-高低溫測(cè)試

  其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)不能滿足要求，同時(shí)投影物鏡的光刻質(zhì)量、運(yùn)動(dòng)部件的定位精度以及測(cè)量裝置的測(cè)量精度等都對(duì)環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問(wèn)題，而半導(dǎo)體冷水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。半導(dǎo)體冷水機(jī)-高低溫測(cè)試

冠亞產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、液晶控制器面板實(shí)現(xiàn)本地+遠(yuǎn)程控制模式。 
2、裝載自動(dòng)故障保障功能，可對(duì)外輸出相應(yīng)信號(hào)，確保設(shè)備工作安全性。 
3、主要零件均采用品牌，質(zhì)量保證。 
4、外形美觀，表面采用高壓靜電噴塑處理。 
5、可根據(jù)具體需求添加輔助設(shè)備

 

型號(hào)		YLJ-255 YLJ-255W	YLJ-275 YLJ-275W	YLJ-2A10 YLJ-2A10W	YLJ-2A15 YLJ-2A15W	YLJ-2A25W	YLJ-2A38W
溫度范圍		-25℃～+100℃
控溫精度		±0.5℃
溫度反饋		Pt100
溫度顯示		0.01k
流量輸出		1～15L/min	1～25L/min	1～30L/min	1～40L/min	1～40L/min	5～50L/min
流量控制精度		±0.2L/min	±0.2L/min	±0.2L/min	±0.2L/min	±0.2L/min	±0.2L/min
壓力顯示		采用江森自控壓力傳感器，觸摸屏上顯示壓力,可進(jìn)行壓力控制調(diào)節(jié)
加熱功率		5.5kW	7.5kW	10kW	10kW 選配15kW	15kW 選配25kW	25kW 選配38kW
制冷量	100℃	5.5kW	7.5kW	10kW	15kW	25kW	38kW
	20℃	5.5kW	7.5kW	10kW	15kW	25kW	38kW
	0℃	5.5kW	7.5kW	10kW	15kW	25kW	38kW
	-20℃	2.8kW	3.8kW	4.6kW	7kW	12kW	16kW
壓縮機(jī)		艾默生谷輪/丹佛斯渦旋柔性壓縮機(jī)
膨脹閥		艾默生/丹佛斯熱力膨脹閥
干燥過(guò)濾器		艾默生/丹佛斯
蒸發(fā)器		丹佛斯/高力板式換熱器
輸入、顯示		7寸彩色觸摸屏西門(mén)子S7-1200PLC控制器
程序編輯		可編制10條程序，每條程序可編制40段步驟
通信		CAN通信總線
安全保護(hù)		具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置、低液位保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障保護(hù)等多種安全保障功能
是否為全密閉系統(tǒng)		整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
制冷劑		R404A/ R507C
接口尺寸		G3/4	G3/4	G3/4	G3/4	G3/4	G3/4
水冷型at25度		1100L/H	1500L/H	2000L/H	2800L/H	4500L/H	7000L/H
水冷冷凝器		帕麗斯/沈氏套管式換熱器
風(fēng)冷型冷凝器		銅管鋁翅片換熱器（上出風(fēng)形式）
電源 380V50HZ		11kW max	14kW max	19kW max	23kW max	31kW max	45kW max
水冷尺寸cm		55*95*175	55*95*175	55*95*175	70*100*175	80*120*185	100*150*185
風(fēng)冷尺寸cm		55*95*175	55*95*175	70*100*175	80*120*185	100*150*185	/
重量（水冷）		230kg	250kg	300kg	320kg	570kg	830kg
選配		220V 60HZ三相  400V 50HZ三相  440V 60HZ三相
選配		溫度擴(kuò)展到-40℃～+135℃
選配		更高精度控制溫度、流量、壓力
選配		自動(dòng)加注防凍液系統(tǒng)
選配		自動(dòng)液體回收系統(tǒng)