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空氣制冷卡盤系統(tǒng)-探針臺chiller
發(fā)布時間：2026-7-9空氣制冷卡盤系統(tǒng)是一種以壓縮空氣為制冷介質的精密溫控設備，主要用于半導體、電子等行業(yè)的晶圓或器件測試環(huán)節(jié)，實現(xiàn)對被測工件的穩(wěn)定夾持與準確溫度控制。無錫冠亞恒溫作為專業(yè)工業(yè)溫控設備廠家，其GY-CP系列空氣制冷卡盤系統(tǒng)采用純空氣制冷技術，不使用液體冷媒或帕爾貼元件，具備高可靠性與穩(wěn)定性。
空氣制冷卡盤系統(tǒng)工作原理
系統(tǒng)通過專用冷卻機對壓縮空氣進行溫度調節(jié)，經密閉通道輸送至卡盤內部，實現(xiàn)對卡盤平板的均勻冷卻與加熱。配合分布式溫度傳感器與PID+PLC復合控制算法，可準確控制溫度波動在±0.5℃以內，滿足精密測試需求。
空氣制冷卡盤系統(tǒng)主要特點與規(guī)格
· 純空氣制冷，無液體泄漏風險，維護簡便
· 溫度范圍覆蓋-65℃至+200℃，支持定制化溫度區(qū)間
· 適配8英寸、12英寸等多種晶圓尺寸，提供非標定制
· 低噪音運行，適合低噪音測試環(huán)境需求
空氣制冷卡盤系統(tǒng)典型應用場景
廣泛應用于半導體晶圓變溫電學測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領域，為晶圓級測試提供穩(wěn)定可靠的溫控平臺。無錫冠亞恒溫憑借多年工業(yè)溫控經驗，可為客戶提供從設備選型到售后維護的全流程服務，助力提升測試效率與數(shù)據(jù)準確性。