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技術文章

氣冷常高溫Chuck-探針臺三溫卡盤冷卻機

發(fā)布時間:2026-7-9

氣冷常高溫Chuck(氣冷式常溫高溫卡盤)是半導體測試與微電子制造領域的溫控固定設備,主要用于晶圓、芯片等微電子器件在測試或工藝過程中的準確定位與溫度控制,通過真空吸附或靜電吸附技術固定工件,同時采用純空氣制冷/加熱方式實現(xiàn)寬溫域準確控溫。


半導體詳情頁_01.jpg


氣冷常高溫Chuck功能與技術特點

無錫冠亞恒溫氣冷常高溫Chuck具備以下特點:

· 寬溫域覆蓋:支持常溫至200℃(可定制更高溫度)連續(xù)控溫,適配多種測試場景

· 純氣冷設計:無需液體介質,避免污染與泄漏風險,維護便捷

· 高精度控溫:控溫精度可達±0.5,溫度均勻性好,保障測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定

· 多尺寸適配:提供8寸、12寸標準卡盤及非標定制,兼容晶圓規(guī)格

· 智能控制:搭載PID智能控溫算法,支持多區(qū)控溫與遠程監(jiān)控

氣冷常高溫Chuck主要應用場景

廣泛應用于半導體器件變溫電學性能測試、功率器件建模、晶圓可靠性評估、車規(guī)級芯片老化測試、射頻變溫測試等領域,特別適用于對潔凈度要求高、不適合液體接觸的測試環(huán)境。

無錫冠亞恒溫chiller產品優(yōu)勢

作為專業(yè)溫控設備廠家,冠亞恒溫氣冷常高溫Chuck采用高品質材料與精密制造工藝,具備結構緊湊、能耗低、穩(wěn)定性強等特點,提供完整的售前技術咨詢與售后維護服務,可根據(jù)客戶需求定制專屬解決方案。

若需了解更多產品參數(shù)或應用案例,訪問冠亞恒溫或聯(lián)系客服獲取詳細資料。


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