JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對應于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應用于硅載體

JIMA RT RC-04分辨率測試卡特點：

• 每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局

• 吸收材料：鎢，厚度>=650nm

• 保護膜：PET膜25μm（含粘合劑）

• 硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）

• 外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）

• 芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）

• 精度模式： 公差： +/- 10%

• 適用范圍工作溫度：10°C至70°C

用途：
在 X 射線系統(tǒng)的分辨率測試。選擇檢測器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數(shù)。現(xiàn)在選擇所需的 X 射線參數(shù)。將測試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見。使用機械手進行溶出度測試，使下一個最小的線束變得可見。只要線條清晰，就繼續(xù)。以下近似適用：焦點尺寸等于分辨率乘以 2。


JIMA RT RC-04分辨率測試的布局+封裝