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KRi 射頻離子源 RFICP 380伯東代理

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：葉南晶查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-12-28 14:27:14瀏覽次數(shù)：296次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

上海伯東美國(guó) KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 套裝包含離子源本體和電源控制器.

詳細(xì)介紹

KRi 射頻離子源 RFICP 380

大口徑射頻離子源 RFICP 380
上海伯東美國(guó) KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 套裝包含離子源本體和電源控制器.
大口徑射頻離子源 RFICP 380-------------- 離子源自動(dòng)控制器 --------------   -------- 射頻離子源 RFICP 380 本體 ----

射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無(wú)需電離燈絲, 通過(guò)射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長(zhǎng). 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動(dòng)匹配
2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)
3. 離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)技術(shù), 準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì), 自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行
4. 全自動(dòng)控制器
5. 離子束動(dòng)能 100-1200eV

射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)規(guī)格:

陽(yáng)極

電感耦合等離子體
2kW & 1.8 MHz
射頻自動(dòng)匹配

陽(yáng)極功率

>1kW

離子束流

> 1000mA

電壓范圍

100-1500V

離子束動(dòng)能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-50sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)

OptiBeamTM

離子束柵極

38cm Φ

柵極材質(zhì)

鉬或石墨

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

38.1 cm

直徑

58.2 cm

鎖緊安裝法蘭

12"CF


射頻離子源 RFICP 380 尺寸:
射頻離子源尺寸

大口徑射頻離子源典型應(yīng)用:
射頻離子源安裝在 1650 mm 蒸鍍機(jī)中, 實(shí)現(xiàn)離子輔助鍍膜 IBAD 及預(yù)清潔 Pre-clean, 完成 LED-DBR 鍍膜生產(chǎn)
射頻離子源
在高倍顯微鏡下檢視脫膜測(cè)試
上海伯東RFICP325脫模測(cè)試

--------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國(guó) KRI 射頻離子源 ----------------------

從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問(wèn)題; 使用上海伯東美國(guó) KRI 射頻離子源, 樣品無(wú)崩邊


1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國(guó)考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國(guó)考夫曼離子源中國(guó)總代理.

若您需要進(jìn)一步的了解 KRI 射頻離子源, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生                                  中國(guó)臺(tái)灣伯東: 王小姐


關(guān)鍵詞：控制器 顯微鏡
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