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日本HORIBA STEC UR-714壓力控制器

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更新時間：2026-05-15 07:28:45瀏覽次數(shù)：108次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情：HORIBA各個領域的專家學者們始終致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即環(huán)保和安全

詳細介紹

產(chǎn)品詳情：

HORIBA各個領域的專家學者們始終致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即環(huán)保和安全。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到最終檢查，HORIBA產(chǎn)品能始終幫助客戶在高精的電子器件制程達到高效能。
HOIRBA集團擁有豐富多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應源液罐體后端控壓以保證罐內壓力穩(wěn)定在安全范圍。這些器件的使用都始終致力于提高制程工藝中的良品率。
見的壓力控制器UR-Z700系列

HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：

UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及高效，響應迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調節(jié)器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是很有名的

HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合環(huán)保要求的RoHS處理

HORIBA STEC UR壓力控制器它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是很有名的，可使用DeviceNet控制接口，符合環(huán)保要求的RoHS處理
見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動壓力調節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會對整臺設備的安全造成極大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過快速響應，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質量流量控制器及反應源液的安全穩(wěn)定運行。

關鍵詞：控制器傳感器

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