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日本HORIBA STEC SEC-N132JM高精度氣體質(zhì)量流量控制器

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日本HORIBA STEC SEC-N132JM高精度氣體質(zhì)量流量控制器

詳細(xì)介紹

日本Horiba STEC SEC-N100系列N112數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

型號(hào):

SEC-N112MGRW SEC-N22MGM SEC-N122MGRW SEC-N112JM SEC-N122JM SEC-N132JM SEC-N142JM

SEC-N176R(1000SLM) SEC-N114MGM SEC-N124MGM SEC-N134MGM SEC-N116MGRW SEC-N126MGRW

SEC-N136MGM

概要

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

特征

大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給

型號(hào)	選擇通訊方式	選擇供電方式
SEC-N102 系列	數(shù)字式信號(hào)傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬式通訊 0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104 系列	DeviceNet™ 通訊	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N105 系列	CC-Link®通訊模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合 CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS™ 通訊方式	符合PROFIBUS™ 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC)
	模擬式通訊
	0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通訊方式	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V